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本发明公开了一种吸附装置、方法、交接手、掩模传输系统及光刻设备，吸附装置包括：吸附单元，用于从工件台上吸附工件；自适应调节单元，连接所述吸附单元，自适应调节单元用于带动吸附单元沿Z向运动，以及自适应调节吸附单元的倾斜角度；压力检测单元，用于...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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