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本发明涉及一种温度测量装置及用于光刻机的浸没装置，用于测量一流体输送件内流体的温度，包括：温度测量单元，用于插入所述流体输送件内以接触所述流体输送件内的流体并执行温度测量；隔温密封单元，套设于所述温度测量单元插入所述流体输送件内的一端以隔离...
该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。

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