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一种碱溶性光刻胶制造技术
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文档序号:26889803
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本发明涉及光学材料领域,尤其涉及一种碱溶性光刻胶。商品化的碱溶性碱溶性光刻胶主要为丙烯酸改性的环氧树脂,但此类树脂的脆性大,在显影时容易造成线条边缘粗糙,而且成膜树脂中含有大量的油性官能团使得成膜树脂在硅片上的附着力较小。基于上述问题,本发...
该专利属于邵杰所有,仅供学习研究参考,未经过邵杰授权不得商用。
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