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本公开的实施例公开了一种用于控制半导体生产过程中的含氟气体排放量的方法。该方法的一具体实施方式包括：确定目标区域内的半导体企业的数量；对于所确定数量的半导体企业中的每一个，确定该企业的四氟化碳、三氟甲烷、六氟乙烷、六氟化硫、三氟化氮的排放量...
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