下载氧化铝沉积设备及供气方法的技术资料

文档序号:26885999

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本发明公开一种氧化铝沉积设备,包括三甲基铝储液仓、氩气源、以及依次连通的液体蒸发器控制系统、混气管和反应仓;所述三甲基铝储液仓具有送液管,所述送液管与所述液体蒸发器控制系统连通;所述氩气源具有并联设置的第一送气管和第二送气管;所述第一送气管...
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