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本申请提供一种供气装置，包括至少一个匀气室和安装板；所述匀气室用于将氛围气体缓冲后输出到镀膜腔，所述匀气室设有至少一个进气口和多个用于将氛围气体输送到所述镀膜腔的出气孔；所述安装板用于将所述匀气室与所述镀膜腔密封固定到一起。本申请采用匀气室...
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