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本发明公开了一种GT35球碗零件内表面TiN厚膜制备方法，球碗零件置于真空炉内抽真空并加热，通入氩气进行氩离子刻蚀，氩离子刻蚀完成后开启靶材对零件表面镀打底层，打底层将零件表面全覆盖后对零件表面沉积氮化钛过渡层，过渡层包括氮化钛第一过渡层和...
该专利属于陕西航天时代导航设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过陕西航天时代导航设备有限公司授权不得商用。

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