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本发明公开了一种GT35球碗零件内表面沉积TiN厚膜的工艺方法，将零件置于真空炉内加抽真空并加热，之后向真空炉内通入氩气对球碗零件内表面进行氩离子刻蚀，氩离子刻蚀完成后启动靶材对刻蚀后的球碗零件内表面镀打底层，打底层将球碗零件内表面全覆盖后...
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