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本发明公开了一种硅片碱抛后清洗用添加剂，由1～3质量份柠檬酸、0.3～0.5质量份月桂醇聚氧乙烯醚、1～2质量份乙二醇、1～2质量份硫酸钠、2～3质量份氯化钠和85～97质量份水组成。本发明的添加剂可以直接应用于现有清洗设备上，对碱抛后的硅...
该专利属于常州时创能源股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州时创能源股份有限公司授权不得商用。

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