下载用于基板批量烘烤的自动化生产设备的技术资料

文档序号:26878082

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本申请提供一种用于基板批量烘烤的自动化生产设备,该设备包括烘烤装置、入料装置、搬移装置及出料装置,烘烤装置设有烘烤室;入料装置包括入料机架及基板夹持机构,基板夹持机构用以将基板和夹框结合成板框组件,且各板框组件排列堆叠在入料机架上并构成批量...
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