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本申请公开了一种键合晶圆,包括:相对设置的第一晶圆和第二晶圆,所述第一晶圆具有第一凹部和与所述第一凹部底部连通的第二凹部,且所述第二凹部的宽度大于所述第一凹部的宽度,所述第二晶圆具有第一凸部和与所述第一凹部和所述第二凹部对应的第二凸部;位于...该专利属于开元通信技术(厦门)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过开元通信技术(厦门)有限公司授权不得商用。
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