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本实用新型公开了一种固态参比电极及其压头装置，其中，第一涂层、第一导电层、硅晶片、第二导电层和信号传输结构；沿所述第一涂层至所述第二导电层的垂直方向上，所述第一涂层、所述第一导电层、所述硅晶片和所述第二导电层依次层叠；所述信号传输结构焊接在...
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