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本实用新型属于微光学器件，包括衬底、光栅固定端、光栅主体、光栅滑动端、驱动器、驱动器引线、驱动器电极、线圈、空气隙、铁芯，用准ＬＩＧＡ技术工艺简化、低成本、效率高；用典型的三维微细加工技术将可调谐光栅与驱动器集成制作在同一衬底上，不需装配对...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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