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一种采用干涉仪精确确定光学系统聚焦面的装置,包括一台激光干涉仪,在该激光干涉仪的出射光路上同光轴地设有一具有基准面的调整架、一块平面反射镜和一块与待测光学系统相匹配的标准反射镜,所述的平面反射镜置于所述的调整架的基准面上,所述的平面反射镜的...该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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一种采用干涉仪精确确定光学系统聚焦面的装置,包括一台激光干涉仪,在该激光干涉仪的出射光路上同光轴地设有一具有基准面的调整架、一块平面反射镜和一块与待测光学系统相匹配的标准反射镜,所述的平面反射镜置于所述的调整架的基准面上,所述的平面反射镜的...