温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种可调反射腔的射频压电谐振器及制备方法，包括：谐振器衬底1、牺牲层2、磨平防刻蚀材料5、谐振器平板底电极6、谐振器压电材料7、谐振器交叉上电极8、压电层刻蚀窗口9及空气反射腔10；所述谐振器衬底1能够支撑可调反射腔的射频压电谐...该专利属于合肥先微企业管理咨询合伙企业(有限合伙);合肥尔微企业管理咨询合伙企业(有限合伙)所有，仅供学习研究参考，未经过合肥先微企业管理咨询合伙企业(有限合伙);合肥尔微企业管理咨询合伙企业(有限合伙)授权不得商用。