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一种电调控的有源耦合腔激光器制造技术
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文档序号:26848400
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本发明公开了一种电调控的有源耦合腔激光器,包括硅衬底;所述硅衬底上设置有第一有源耦合腔、第二有源耦合腔和硅衬底电极;所述第一有源耦合腔和第二有源耦合腔均通过硅柱固定在硅衬底上;所述第一有源耦合腔、第二有源耦合腔的底部与硅柱之间均设置有氮化铝...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。
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