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本申请实施例公开了一种三维存储器的形成方法及三维存储器,其中,所述方法包括:形成堆叠结构的存储叠层;选取所述存储叠层中的至少一层作为待处理层,在第一方向上,对所述待处理层进行刻蚀,以形成沿第二方向交替排列的第一刻蚀间隙和第一相变结构体,所述...该专利属于长江先进存储产业创新中心有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江先进存储产业创新中心有限责任公司授权不得商用。
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本申请实施例公开了一种三维存储器的形成方法及三维存储器,其中,所述方法包括:形成堆叠结构的存储叠层;选取所述存储叠层中的至少一层作为待处理层,在第一方向上,对所述待处理层进行刻蚀,以形成沿第二方向交替排列的第一刻蚀间隙和第一相变结构体,所述...