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本发明涉及一种提高PERC电池开压的热氧化工艺方法及得到的电池片。所述方法包括：将硅片依次进行第一热氧化和第二热氧化的过程，第一热氧化的温度>第二热氧化的温度。本发明所述方法采用两步通氧的热氧化工艺，在第一热氧化温度下通入第一步氧气，...
该专利属于横店集团东磁股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过横店集团东磁股份有限公司授权不得商用。

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