下载位于SOI衬底上的具有沟槽改进的电流路径的高压二极管的技术资料

文档序号:26848020

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本发明题为“位于SOI衬底上的具有沟槽改进的电流路径的高压二极管”。本发明公开了一种半导体器件,该半导体器件可包括绝缘体上硅(SOI)衬底和形成于SOI衬底上的二极管,该二极管包括阴极区域和阳极区域。该半导体器件可包括至少一个击穿电压沟槽,...
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