下载一种新型调制MOS集成RG的方法的技术资料

文档序号:26846078

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本发明公开了一种新型调制MOS集成RG的方法,包括以下步骤:根据实际情况设计RG结构;版图设计定型;根据版图计算方块电阻的大小;根据方阻的大小,选择poly implant(多晶注入)的工艺条件;实施poly implant(多晶注入)的操...
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