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一种新型调制MOS集成RG的方法技术
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文档序号:26846078
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本发明公开了一种新型调制MOS集成RG的方法,包括以下步骤:根据实际情况设计RG结构;版图设计定型;根据版图计算方块电阻的大小;根据方阻的大小,选择poly implant(多晶注入)的工艺条件;实施poly implant(多晶注入)的操...
该专利属于苏州达晶半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州达晶半导体有限公司授权不得商用。
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