下载一种透射电镜高分辨原位温差加压芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:26844053

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本发明涉及一种透射电镜高分辨原位温差加压芯片及其制备方法,其中芯片包括双面覆盖有绝缘层的基片,该基片的正面上设置有呈左右镜像设置的两加热加压单元;每一加热加压单元均包括两加热电极、一加压电极、一加热丝和一加压电路,加热丝和加压电路布设于基片...
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