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本申请公开了一种压电传感器的制备方法与压电传感器,该制备方法包括:提供压电驻极体;在压电驻极体的一侧表面上设置信号阵列单元;在压电驻极体表面未被信号阵列单元覆盖的区域设置绝缘层;在绝缘层上制作信号导线,并使信号导线与信号阵列单元连接;在压电...该专利属于中国科学院深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院深圳先进技术研究院授权不得商用。
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本申请公开了一种压电传感器的制备方法与压电传感器,该制备方法包括:提供压电驻极体;在压电驻极体的一侧表面上设置信号阵列单元;在压电驻极体表面未被信号阵列单元覆盖的区域设置绝缘层;在绝缘层上制作信号导线,并使信号导线与信号阵列单元连接;在压电...