一种压电传感器的制备方法与压电传感器技术

本申请公开了一种压电传感器的制备方法与压电传感器，该制备方法包括：提供压电驻极体；在压电驻极体的一侧表面上设置信号阵列单元；在压电驻极体表面未被信号阵列单元覆盖的区域设置绝缘层；在绝缘层上制作信号导线，并使信号导线与信号阵列单元连接；在压电驻极体远离信号阵列单元的一侧表面上设置地线层与地线导线，以获得压电传感器。通过上述方式，本申请能够降低传感单元数量以及尺寸对压电传感器的尺寸的限制，以及减小传感单元数量以及尺寸对检测精度的影响，通过提高传感器中阵列单元的密度，进一步提高传感信号的精度和准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种压电传感器的制备方法与压电传感器
本申请涉及功能材料
，尤其是涉及一种压电传感器的制备方法与压电传感器。
技术介绍
压电驻极体是一种具有较高压电系数且柔性良好的新型功能材料，其对动态力具有较高的检测灵敏性，因而在传感器等领域具有巨大的应用潜力。基于压电驻极体的传感器具有厚度薄、柔性良好等特点，可应用于机器人、人工皮肤等领域。在实际运用中，压电驻极体传感器多用于触觉、振动以及摩擦力等力的检测。现有技术中，若需要同时检测多个位置的触觉、振动以及摩擦力等力的变化，或者提高动态力检测的精度和准确性，通常将压电驻极体传感器设计成阵列结构。例如，将多个分立的压电驻极体传感单元排布组合成传感器阵列。这种方法的制备流程虽然简单，但如果用于制备高密度阵列结构的传感器，所获得的传感器的尺寸以及检测精度均会受到分立传感单元尺寸的限制以及影响。
技术实现思路
本申请主要解决的技术问题是提供一种压电传感器的制备方法与压电传感器，通过在完整的驻极体薄膜上制备信号阵列单元与信号导线，避免传感单元的压电效应失效。>为解决上述技术问题本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电传感器的制备方法，其特征在于，包括：/n提供压电驻极体；/n在所述压电驻极体的一侧表面上设置信号阵列单元；/n在所述压电驻极体表面未被所述信号阵列单元覆盖的区域设置绝缘层；/n在所述绝缘层上制作信号导线，并使所述信号导线与所述信号阵列单元连接；/n在所述压电驻极体远离所述信号阵列单元的一侧表面上设置地线层与地线导线，以获得所述压电传感器。/n

【技术特征摘要】
1.一种压电传感器的制备方法，其特征在于，包括：
提供压电驻极体；
在所述压电驻极体的一侧表面上设置信号阵列单元；
在所述压电驻极体表面未被所述信号阵列单元覆盖的区域设置绝缘层；
在所述绝缘层上制作信号导线，并使所述信号导线与所述信号阵列单元连接；
在所述压电驻极体远离所述信号阵列单元的一侧表面上设置地线层与地线导线，以获得所述压电传感器。


2.根据权利要求1所述的压电传感器的制备方法，其特征在于，所述在所述压电驻极体的一侧表面上设置信号阵列单元的步骤具体包括：
基于所述信号阵列单元的设定参数制备信号层掩膜板；
将所述信号层掩膜板置于所述压电驻极体的一侧表面上，控制金属颗粒沉积到所述压电驻极体表面，以形成所述信号阵列单元。


3.根据权利要求2所述的压电传感器的制备方法，其特征在于，所述在所述压电驻极体表面未被所述信号阵列单元覆盖的区域设置绝缘层的步骤具体包括：
基于所述信号阵列单元的设定参数制备信号层遮盖板；
利用所述信号层遮盖板对所述信号阵列单元进行遮盖处理后，控制高分子聚合物颗粒沉积到所述压电驻极体表面，以形成所述绝缘层。


4.根据权利要求3所述的压电传感器的制备方法，其特征在于，所述在所述绝缘层上设置信号导线，并使所述信号导线与所述信号阵列单元连接的步骤具体包括：
基于所述信号阵列单元制备与所述信号阵列单元连接的信号导线掩膜板；
将所述信号导线掩膜板置于所述信号阵列单元与所述绝缘层上，控制所述金属颗粒沉积到所述信号阵列单元与所述绝缘层的表面，以形成与所述信号阵列单元连接的所述信号导线。


5.根据权利要求4所述的压电传感器的制备方法，其特征在于，所述在所述压电驻极体远离所述信号阵列单元的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹江浪，方鹏，李光林，
申请(专利权)人：中国科学院深圳先进技术研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44