下载光栅物镜和光栅光束整形器及含上述元件的光学扫描装置的技术资料

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描述了包含至少三个光栅、其中辐射光束的轴向光线和边界光线至少互换三次以使其具有波长无关特性、相当大的象场和令人满意的均匀的强度分布的光栅物镜。也描述了根据同样原理的光束整形器及带有内部光束整形器的光栅物镜。...
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