光栅物镜和光栅光束整形器及含上述元件的光学扫描装置制造方法及图纸

描述了包含至少三个光栅、其中辐射光束的轴向光线和边界光线至少互换三次以使其具有波长无关特性、相当大的象场和令人满意的均匀的强度分布的光栅物镜。也描述了根据同样原理的光束整形器及带有内部光束整形器的光栅物镜。（*该技术在2010年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及包含第一和第二衍射光栅的光栅物镜，所述第一和第二衍射光栅一个接一个地排列在从物体侧到象侧延展的光路上，将这些光栅进行这样的适配和排列，即使得一个光栅的轴向光线或边界光线分别为另一光栅的边界光线或轴向光线。本专利技术还涉及用于对辐射光束的横截面进行整形的光束整形器。本专利技术还涉及包含所述光栅物镜和(或)光束整形器的光学扫描装置。从“应用光学”(Applied Optics)(第28卷，第4号，1989年，682-686页)中的文章“波长无关光栅透镜系统”中可了解上述类型的光栅物镜。和普通物镜透镜相比，光栅或全息形式的物镜的优点在于较小、较轻并较易于用已有的重复技术进行大规模生产。光栅用作透镜的缺点是比普通透镜有更大的波长相关性。在光束波长有微小变化的情况下，衍射光束部分的角度会发生变化，从而产生象差。要减小波长相关性，“应用光学”(1989年682-686页)中的所述文章提出了用前后排列的两光栅组成光栅透镜。以这样方式适配光栅使每一光束射线被第二光栅以与该光线被第一光栅衍射的第一角度相反的第二角度进行衍射。结果，波长变化引起的第一衍射角度的偏差，可由第二衍射角度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种包含第一和第二衍射光栅的光栅物镜，所述第一和第二衍射光栅一个接一个地排列在从物体侧到象侧延展的光路上，这样适配和排列这些光栅使一个光栅的轴向光线或边界光线光束分别为另一光栅的边界光线或轴向光线，该光栅物镜的物征在于，至少将第三光栅排列于第一和第二光栅形成的辐射路径上，以使穿过光栅物镜的光束的轴向光线和边界光线至少互换三次。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：约瑟夫斯JM布拉特，威廉杰拉德奥费，
申请(专利权)人：菲利浦电子有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]