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本公开提供一种碲化砷靶材及其制备方法。所述碲化砷靶材的制备方法包括以下步骤：步骤S1，混合碲粉和砷粉，得到混合粉末；步骤S2，将混合粉末在氮气或惰性气体氛围中进行两段式加热，冷却，制得三碲化二砷；步骤S3，将三碲化二砷进行破碎筛分，得到的三...
该专利属于先导薄膜材料(广东)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料(广东)有限公司授权不得商用。

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