下载一种超高纯铜系靶材与背板的焊接方法的技术资料

文档序号:26837023

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本发明公开了一种超高纯铜系靶材与背板的焊接方法,所述焊接方法包括:将带有螺纹的背板焊接面进行镀膜处理,然后与超高纯铜系靶材进行装配;将装配好的超高纯铜系靶材和背板放入包套,将所述包套封口后抽真空;将抽真空后的包套进行热等静压处理,完成超高纯...
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