下载光电子组件的密封的技术资料

文档序号:2683590

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一种密封的光电组件(1)包括,一单晶硅片(3)和位于其上的波导(9),其至少部分地采用电子集成电路制造方法中选出的处理方法来制作。波导(9)从光电组件(1)边棱处延伸至光电子有源或无源组件(11)处,该组件(11)附着于硅片(3)的表面上。...
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