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本实用新型提出一种基于氩气和氦气混合气体的等离子体发生装置，包括：等离子体发生装置、激励电源和气体混合装置；所述气体混合装置用于生成含有氩气、氦气和掺杂气体的混合气体；所述等离子体发生装置用于将所述混合气体施加电场，在竖直下方产生等离子体；...
该专利属于福州大学所有，仅供学习研究参考，未经过福州大学授权不得商用。

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