温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种MPCVD设备基板台冷却管定位结构，包括基板台、支撑台，基板台设于支撑台上，支撑台内设有传输冷却液的冷却管，所述冷却管上设有中心定位件，中心定位件用于冷却管定位于基板台底部正中心位置，中心定位件包括定位套，定位套上设有用...
该专利属于长沙新材料产业研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长沙新材料产业研究院有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。