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一种氧化锆／氧化硅系高抗激光损伤高反膜的制备方法，在玻璃基底上用化学镀膜法交替制备数层氧化锆（ＺｒＯ↓［２］）和氧化硅（ＳｉＯ↓［２］）膜层。氧化锆（ＺｒＯ↓［２］）溶胶镀膜液制备方法为：以正丙醇锆Ｚｒ（Ｏ－ｎＣ↓［３］Ｈ↓［７］）↓［４］...该专利属于中国科学院山西煤炭化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院山西煤炭化学研究所授权不得商用。
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一种氧化锆／氧化硅系高抗激光损伤高反膜的制备方法，在玻璃基底上用化学镀膜法交替制备数层氧化锆（ＺｒＯ↓［２］）和氧化硅（ＳｉＯ↓［２］）膜层。氧化锆（ＺｒＯ↓［２］）溶胶镀膜液制备方法为：以正丙醇锆Ｚｒ（Ｏ－ｎＣ↓［３］Ｈ↓［７］）↓［４］...