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本发明属于光纤通讯中微光学信息处理技术领域，包括芯片、金外线、金属封装外壳及带尾纤的光纤活动连接器，该芯片由硅衬底，入射、出射光纤，制作在硅衬底上由多晶硅－氮化硅复合微梁支撑的微镜，位于该微梁上的上电极和位于绝缘介质膜之下的下电极所组成。本...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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