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本实用新型公开了一种晶圆研磨自动上料机器臂，包括机器台和转珠，所述机器台的内部设置有微型电机，且微型电机的两侧均设置有第一固定栓，所述第一固定栓的一侧设置有转轴，且转轴的一侧设置有散热框，所述转珠均设置在机器台的上方，且转珠的上方设置有卡块...
该专利属于江苏澳芯微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏澳芯微电子有限公司授权不得商用。

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