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本揭示提供一种多孔性基板之湿式处理设备，包含旋转装置和液体供应装置。旋转装置包含承载台、旋转件、管路、和排液管。承载台配置为将多孔性基板保持于其上。旋转件与所述承载台连接，配置为带动所述承载台绕着旋转轴旋转。管路设置在所述旋转件内部，包含进...
该专利属于弘塑科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过弘塑科技股份有限公司授权不得商用。

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