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气黏垫式芯片载盘制造技术
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文档序号:26811363
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本实用新型提供了一种气黏垫式芯片载盘,包括一座体、一附加电路板及一胶膜,座体具有一上表面,至少一气道形成于所述上表面,座体内部具有一注气室及至少一通孔,所述通孔连通所述注气室与所述气道;所述附加电路板固定于所述座体顶面,所述附加电路板具有至...
该专利属于宥舜国际有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宥舜国际有限公司授权不得商用。
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