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用准分子激光制造微球面与非球面高分子结构阵列的方法技术
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文档序号:2680708
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一种用准分子激光制造微球面与非球面高分子结构阵列的方法,准分子激光光源通过一个光罩上的曲线图案照射并冲击基板上涂敷的高分子材料而使其剥离蚀刻。同时使基板沿着垂直于该直线的方向移动,使高分子材料在沿着该直线方向上的不同位置处受到不同时间长度的...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。
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