用准分子激光制造微球面与非球面高分子结构阵列的方法技术

一种用准分子激光制造微球面与非球面高分子结构阵列的方法，准分子激光光源通过一个光罩上的曲线图案照射并冲击基板上涂敷的高分子材料而使其剥离蚀刻。同时使基板沿着垂直于该直线的方向移动，使高分子材料在沿着该直线方向上的不同位置处受到不同时间长度的照射，造成不同蚀刻深度，因而可将高分子材蚀刻成预定形状的立体图案。并且，借助于两次不同方向或是不同光罩图案的照射蚀刻，可得到类球面或非球面的微阵列结构。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，尤其是适于用准分子激光加工在一个基板上形成的微球面阵列结构，以便制造金属模具，压制LCD面板或光敏面板。为了能提高例如液晶显示屏幕、LCD、或是其他光敏面板的可视角度，必须在面板上形成有许多突起的微球面阵列结构以增进聚光性(或散光性)。这些有微球面阵列结构的面板大多是借助于金属模具以压制的方式制造的，而金属模具(压模)则是在一个母模上溅射一层金属层，然后再将金属层自母模脱离开，于是该金属层即成为可用来压制面板的压模。公用技术中，用以制造压模的母模的方法有以下几种(一)以单道步进机曝光并配合高温调节法制造如附图说明图1A至图1D所示，首先在一基板11上涂敷一光致抗蚀剂层12(图1A)。然后，用一步进机14透过一光罩13在基板11上进行分区、单次的步进曝光动作(图1B)。之后，用化学药剂洗掉未曝光的光致抗蚀剂12，而在基板11上形成若干微圆柱状光致抗蚀剂15的阵列结构(图1C)。接下来，再以高温调节的方式，将基板加热到很接近或甚至高于光致抗蚀剂熔点(Tg)的温度，使微圆柱状光致抗蚀剂15的表面相对来说大量的熔化而成为圆弧状16(图1D)。这种技术具有以下缺点1.本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用准分子激光制造微球面与非球面高分子结构阵列的方法，包括有下列步骤：（ａ）准备一表面涂敷有高分子材料的基板，以及设有预定曲线图案的至少一个光罩；（ｂ）以一准分子激光光源通过光罩对该基板上的高分子材料进行照射，且同时沿第一对应方向 相对移动基板，使高分子材料被蚀刻，形成第一立体图案；（ｃ）沿第二对应方向相对移动基板，同时并用准分子激光光源通过光罩对第一立体图案进行照射蚀刻，形成第二立体图案。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡宏营，潘正堂，周敏杰，陈世洲，林育生，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]