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阵列波导光栅及其制造方法技术
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文档序号:2680515
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一种阵列波导光栅包括至少一个第一光波导、第一片状波导、阵列波导、第二片状波导和多个第二光波导。阵列波导通过第一片状波导连接到第一光波导。阵列波导包括多个通道波导,每个通道波导的长度彼此不同。多个第二光波导通过第二片状波导连接到阵列波导。多个...
该专利属于古河电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过古河电气工业株式会社授权不得商用。
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