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一种制造薄膜电阻器(TFR)模块的方法包括：在衬底上形成TFR元件；使所述TFR元件退火以减小所述TFR元件的电阻温度系数(TCR)；以及在形成该TFR元件并将其退火之后，形成与该TFR元件的相对侧接触的一对导电TFR头。通过在该TFR头之...
该专利属于微芯片技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过微芯片技术股份有限公司授权不得商用。

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