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一种发光二极管晶圆片自动智能存取设备制造技术
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文档序号:26797423
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本实用新型公开了一种发光二极管晶圆片自动智能存取设备,包括上料区料盒、取放料机构、机械手臂、轨道、出料区、安全护罩、晶圆片、存储区旋转机构、条码枪、检修人员进出口;其中:上料区料盒摆放在上料区固定桌上,上料区固定桌固定模块将上料区料盒固定,...
该专利属于江西兆驰半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江西兆驰半导体有限公司授权不得商用。
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