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一种体声波谐振器及其制造方法、滤波器、电子设备，制造方法包括：提供衬底，衬底中形成有凹槽；形成位于凹槽中的牺牲层；形成位于牺牲层上的底部电极，底部电极的部分边界位于凹槽上方，部分延伸至凹槽外周的衬底上；形成位于底部电极露出的衬底上并与底部电...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司授权不得商用。

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