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一种热电堆传感器的制作方法,所述方法包括:提供热电堆结构板和电路基板;在所述热电堆结构板具有所述热电堆结构一侧形成图形化的牺牲结构,所述牺牲结构在所述热电堆结构板的投影至少覆盖所述热辐射感应区;在所述热电堆结构板或所述电路基板上形成热辐射反...该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司授权不得商用。
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一种热电堆传感器的制作方法,所述方法包括:提供热电堆结构板和电路基板;在所述热电堆结构板具有所述热电堆结构一侧形成图形化的牺牲结构,所述牺牲结构在所述热电堆结构板的投影至少覆盖所述热辐射感应区;在所述热电堆结构板或所述电路基板上形成热辐射反...