下载一种GaN异质结场效应晶体管芯片及其制备方法的技术资料

文档序号:26795662

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本发明提供的一种GaN异质结场效应晶体管芯片,包括:衬底;位于衬底上的缓冲层;位于缓冲层上主要由第一半导体层与第二半导体层组成的异质结构;位于异质结构上的源极及漏极;以及位于异质结构上源极与所述漏极之间的栅极;栅极位于第二半导体层上,栅极所...
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