下载降低图像传感器表面暗电流的方法及图像传感器的技术资料

文档序号:26795585

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本发明提供了一种降低图像传感器表面暗电流的方法及图像传感器。所述方法包括如下步骤:在图像传感器表面生长一界面修复层,所述界面修复层采用氧化物材料;在界面修复层表面生长一电荷俘获层,所述电荷俘获层采用高介电常数材料,用以对传感器表面进行电荷捕...
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