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本发明公开了一种晶圆蚀刻载具设备，其结构包括蚀刻箱、控制器、观察窗口、排液管、滑块，控制器通过螺栓连接于蚀刻箱前侧，观察窗口嵌设于蚀刻箱右上表面，排液管贯穿于蚀刻箱右壁，滑块通过活动卡合连接于蚀刻箱前侧，本发明的有益效果在于：将晶圆放置在置...
该专利属于李娜所有，仅供学习研究参考，未经过李娜授权不得商用。

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