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本发明涉及了晶圆生产加工领域，具体的是一种晶圆的检测装置及其检测方法，其中墨滴调整单元包括基盘、喷墨回收结构和喷墨单元切换机构，基盘用于承载喷墨单元喷射的墨滴，喷墨回收结构用于对基盘上的墨滴进行回收，喷墨单元切换机构用于切换不同的喷墨单元，...
该专利属于苏州思达优科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州思达优科技有限公司授权不得商用。

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