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本发明涉及半导体制造设备领域，具体而言，涉及一种永磁装置和磁控溅射设备；永磁装置包括永磁组件、第一驱动机构和第二驱动机构，第一驱动机构与永磁组件传动连接，用于驱动永磁组件转动，以形成旋转磁场；第二驱动机构与第一驱动机构传动连接，用于驱动第一...
该专利属于陛通半导体设备(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过陛通半导体设备(苏州)有限公司授权不得商用。

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