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本发明是一种耐湿热的低温强化透明导电复合膜的制备方法，该复合膜的层结构从上至下依次包括强化的氧化物层/半金属态过渡层/金属层/衬底。强化的氧化物层借助逐层等离子体辅助强化的方法，低温下沉积氧化物薄膜薄层间断式用等离子体轰击强化，然后在氧化与...
该专利属于中国航发北京航空材料研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国航发北京航空材料研究院授权不得商用。

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