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揭示了在衬底上优先沉积材料的方法。材料可通过把电磁干涉图案引导到衬底上来选择性地加热符合干涉图案最大值的衬底区域上优先沉积。然后把衬底暴露在能够根据表面温度在表面上优先积累的气相材料之下。...
该专利属于3M创新有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过3M创新有限公司授权不得商用。

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