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基于离子交换的脊形光波导器件的制作方法技术
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文档序号:2679232
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基于离子交换的脊形光波导器件的制作方法,其特征在于它包括如下两个工艺步骤: 1)将整片制作波导的基底材料放入熔融的硝酸钾溶液中进行离子交换,离子交换的温度大于硝酸钾的熔点330℃而小于基底的熔化温度,扩散时间为5~10小时,已能形成波...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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